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四模态匹配三轴硅微陀螺仪
四模态匹配三轴硅微陀螺仪
作者:
夏敦柱
孔伦
虞成
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
三轴陀螺
模态匹配
正交十字梁
热弹性阻尼
摘要:
为了实现单片集成六自由度微惯性测量单元,提出了一种改进的由4个大质量块和4个小质量块组合而成的四方全对称结构的三轴陀螺仪.介绍了该惯性测量元件的结构及工作原理,根据结构参数计算出了详细的性能指标,并进行了面内驱动模态和面内外的敏感模态仿真.为提高各敏感模态的机械灵敏度,提出采用双重静电频率调谐方案,即先对公共质量块施加调谐电压,使驱动模态和航向模态的频差最小;再对小质量块上方的多晶硅电极施加另外的调谐电压,最终使四模态频率偏差小于30 Hz,从而说明该频率调谐方法是有效的.然后,通过分析热弹性阻尼能量耗散机理,对驱动及敏感谐振模态的品质因数进行仿真.结果表明:真空环境不考虑空气阻尼情况下,两种模态的品质因数分别为23 816和19 507.最后,基于表面加工和体加工工艺,设计了高深宽比的加工流程.对该四方对称解耦结构的设计和仿真表明其模态匹配和品质因数性能满足三轴陀螺的设计要求.
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文献信息
篇名
四模态匹配三轴硅微陀螺仪
来源期刊
光学精密工程
学科
交通运输
关键词
三轴陀螺
模态匹配
正交十字梁
热弹性阻尼
年,卷(期)
2013,(9)
所属期刊栏目
微纳技术与精密机械
研究方向
页码范围
2326-2332
页数
7页
分类号
U666.1
字数
3077字
语种
中文
DOI
10.3788/OPE.20132109.2326
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
夏敦柱
东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室
22
160
8.0
11.0
2
孔伦
东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室
1
2
1.0
1.0
3
虞成
东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室
1
2
1.0
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引证文献(1)
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二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
三轴陀螺
模态匹配
正交十字梁
热弹性阻尼
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
主办单位:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国仪器仪表学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-924X
CN:
22-1198/TH
开本:
大16开
出版地:
长春市东南湖大路3888号
邮发代号:
12-166
创刊时间:
1959
语种:
chi
出版文献量(篇)
6867
总下载数(次)
10
总被引数(次)
98767
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