数字横向剪切干涉仪相移技术

• 作者: 何煦 向阳
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 波像差 相移式干涉仪 剪切干涉仪 柔性铰链
• 年，卷（期）: 2013,（9）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2244-2251
• 页数: 8页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 3817字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132109.2244

摘要

由于相移式横向剪切干涉仪相移单元的分辨率、精度等参数直接影响其测试物镜波像差的精度,本文根据相移式横向剪切干涉测试原理,设计了采用宏微复合运动模式的相移组件,该相移组件可在25 mm行程内实现纳米级的相移运动.重点分析了柔性铰链复合四杆结构微动单元初始设计参数间的数学规律,计算了铰链刚度与弱截面应力,并给出了具体的设计实例.采用有限元分析方法,对设计实例中微动单元的相移量与压电陶瓷(PZT)出力之间的作用规律进行仿真,并分析了相移精度.结果显示,PZT在促动力输出范围内可促动0.1 mm～1 nm的一维相移运动,理论精度优于3.5 nm.微动单元的开环标定测试结果表明,相移微动单元的实际精度优于5 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何煦	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	22	165	6.0	12.0
2	向阳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	45	394	12.0	18.0