谐振式压力传感器驱动仿真研究

• 作者: 张驰
• 来源期刊: 软件
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS谐振器 闭环拓扑 行为级仿真
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 计算机仿真
• 页码范围: 118-121
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 3720字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-6970.2013.03.037

摘要

谐振式传感器由于其重量轻、精度高、响应快在压力测量领域获得了飞速发展,传感器的构成包括机械谐振子在内的机电一体的谐振系统,而驱动系统对保持机械谐振器振荡的稳定性和可靠性起着重要作用.本文针对一种典型结构的谐振式压力传感器,分析比较了不同的闭环驱动结构,最后构建了其行为级闭环自激仿真模型,在MATLAB中对自激回路的起振情况进行了仿真；验证了AGC对压力传感器幅度与频率的双重跟踪性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张驰	厦门大学物理与机电工程学院机电工程系	4	18	2.0	4.0