光波干涉法检定量具平面性及尺寸应用

• 作者: 方馗 薛永明
• 来源期刊: 计量与测试技术
• 关键词: 平晶 千分尺 量块
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 计测技术
• 页码范围: 19,21
• 页数: 2页
• 字数: 884字
• 语种: 中文

摘要

平晶是目前用来检定计量器具工作面平面性或平行性的主要量具.本文简要介绍了利用平晶和光波干涉法检定量具平面度和平行性的示值误差的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方馗		5	5	1.0	2.0
2	薛永明		3	1	1.0	1.0