Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究

• 作者: 丁宁 徐强 李琦 王骐 肖德龙 谢耀 赵永蓬
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 极紫外光刻光源 毛细管放电 磁流体力学 Xe等离子体
• 年，卷（期）: 2013,（24）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 245204-1-245204-7
• 页数: 1页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.245204

摘要

理论和实验上研究了Xe介质毛细管放电极紫外光源等离子体时间特性和最佳条件.从理论上建立了Xe介质一维辐射磁流体力学模型,模拟了不同气压和电流条件下等离子体压缩和辐射特性；实验上测量了放电电流30 kA时不同气压条件下13.5 nm (2%带宽)动态特性.理论和实验结果表明：不同放电电流条件下,存在最佳气压值,最佳气压随着电流的增加而增加；同时,电流增加时,13.5 nm (2%带宽)辐射光强峰值时刻减小.