AFM扫描参数对样品粗糙度测量的影响

• 作者: 张振生 张荣君 李海涛 王子仪 郑玉祥
• 来源期刊: 实验室研究与探索
• 学科: 物理学
• 关键词: 原子力显微镜 扫描参数 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 实验技术
• 页码范围: 5-7
• 页数: 3页
• 分类号: O4-34|G316
• 字数: 2860字
• 语种: 中文

摘要

原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)是纳米科技研究领域的一种重要工具.作为一种近场成像仪器,参数的选择对样品成像的效果有着很大的影响,不当的参数甚至可能造成样品的损坏.通过采用控制变量法,并以均方根粗糙度作为评判标准,改变AFM各项扫描参数,研究了AFM中不同参数的调整对于样品扫描图像的影响.结果表明,振幅阈值、扫描速率、积分增益三项参数对于测量样品表面粗糙度均有较大影响,通过适当改变扫描参数,可以有效提升AFM的样品扫描质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王子仪	上海超精密光学制造工程技术研究中心复旦大学信息学院光科学与工程系	1	11	1.0	1.0
2	张荣君	上海超精密光学制造工程技术研究中心复旦大学信息学院光科学与工程系	1	11	1.0	1.0
3	郑玉祥	上海超精密光学制造工程技术研究中心复旦大学信息学院光科学与工程系	1	11	1.0	1.0
4	张振生		1	11	1.0	1.0
5	李海涛		1	11	1.0	1.0