直拉硅单晶放肩过程的有限元数值模拟与控制参数研究

• 作者: 刘丁 张晶 焦尚彬 赵跃
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 直拉硅单晶 放肩 晶转 有限元数值模拟
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 页码范围: 58-64
• 页数: 7页
• 分类号: O78
• 字数: 3842字
• 语种: 中文

摘要

放肩是直拉法生长硅单晶保持无位错生长的过程,是晶体能够顺利进入等径生长的关键.生产实践中发现,在放肩前段经常出现液流线切人晶体随之变晶的现象.本文提出了放肩前期的变晶转拉晶工艺,采用有限元数值模拟的方法计算出熔体热对流及温度分布,给出了固液界面附近熔体中的流速变化规律,解释了液流线的成因,通过仿真结果和拉晶实验结果表明该方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘丁	西安理工大学自动化与信息工程学院	196	3213	31.0	45.0
2	赵跃	西安理工大学自动化与信息工程学院	19	130	8.0	10.0
3	焦尚彬	西安理工大学自动化与信息工程学院	55	764	15.0	26.0
4	张晶	西安理工大学自动化与信息工程学院	7	17	2.0	4.0