一种LED辐照激励下的室温NO2气体传感器研究

• 作者: 刘青林 李明达 胡明 贾丁立
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 室温气体传感器 金属氧化物半导体 快速热处理 发光二极管
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 29-31
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 1895字
• 语种: 中文

摘要

采用快速热处理的方法,提高了室温下WO3薄膜气体传感器对NO2的敏感特性.首先采用直流对靶磁控溅射的方法在Al2O3陶瓷基底上沉积纳米WO3薄膜,然后在N2∶O2=4∶1的混合气氛中,分别在500,600℃和700℃的热处理温度下对纳米WO3薄膜进行快速热处理.所得样品表面形貌用扫描电子显微镜(SEM)进行观察,晶体结构用X射线衍射仪(XRD)进行表征,在室温下检测经过不同热处理温度的样品在LED光照下的WO3薄膜气体传感器的NO2敏感性能.结果表明:经过600℃快速热处理的样品的气敏性能最好,其具有较大的比表面积,灵敏度最高,在室温下可以达到100,且具有较好的响应恢复特性,测试环境的辅助激励光源LED易与IC集成,具有降低能耗、简便实用的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡明	天津大学电子信息工程学院	139	1336	19.0	28.0
2	贾丁立	天津大学电子信息工程学院	2	10	1.0	2.0
3	李明达	天津大学电子信息工程学院	3	18	2.0	3.0
4	刘青林	天津大学电子信息工程学院	2	10	1.0	2.0