基于图像处理的版图优化方法

• 作者: 宁盼 张广燕 曹洪花 李博 李锦 李长江 王俊平
• 来源期刊: 电子科技
• 学科: 工学
• 关键词: 版图优化 图像处理 膨胀算法 关键面积
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 图像·编码与软件
• 页码范围: 29-32
• 页数: 4页
• 分类号: TN41
• 字数: 3615字
• 语种: 中文

摘要

随着集成电路技术进入深亚微米技术节点,提高成品率成为研究热点问题.文中提出了一种基于图像处理的版图优化方法来提高成品率.该方法首先确定两个待优化线网和其可移动空间,再找出两个待优化线网的最佳移动位置,将两个待优化线网移动后所减小短路关键面积最大的线网,作为本次优化的线网,实现对版图的优化.文中提出的优化方法不但考虑了缺陷的真实轮廓特征和粒径分布特征,而且不受版图线网的形状的制约,为版图优化提供了更准确的依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李博	西安电子科技大学通信工程学院	13	124	6.0	11.0
2	王俊平	西安电子科技大学通信工程学院	31	284	10.0	16.0
3	曹洪花	西安电子科技大学通信工程学院	5	95	4.0	5.0
4	宁盼	西安电子科技大学通信工程学院	1	5	1.0	1.0
5	张广燕	西安电子科技大学通信工程学院	4	93	4.0	4.0
6	李锦	西安电子科技大学通信工程学院	7	205	5.0	7.0
7	李长江	西安电子科技大学通信工程学院	2	16	2.0	2.0