基于MEMS和数字信号处理器的露点传感器设计

• 作者: 刘清惓 谢军
• 来源期刊: 制造业自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 露点 DSP 电容传感器 温度传感器 半导体制冷 PID算法
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 设计与应用
• 页码范围: 133-135,138
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 3048字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0134.2013.02(上).35

摘要

提出一种基于MEMS传感器和数字信号处理技术的电容式露点传感器的设计,实现对大气环境的露点温度检测.利用24位Σ-△模数转换器对温度进行测量,并运用PID算法对多级半导体制冷器进行精确控制.经过光学冷镜式露点传感器的对比测试,验证了其露点测量误差小于0.4℃.该传感器体积小、功耗低、响应快,能够满足大气中水汽含量瞬态变化的测量要求,有望在气象观测领域获得应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘清惓	南京信息工程大学电子与信息工程学院信号与信息处理系	42	91	5.0	7.0
2	谢军	南京信息工程大学电子与信息工程学院信号与信息处理系	1	5	1.0	1.0