超声喷雾热解法制备ZnO∶Al薄膜及其光电性能研究

• 作者: 张婷婷 杨玲 王华 许积文 韦帅
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 物理学
• 关键词: 喷雾热解法 ZnO∶Al 方块电阻 透光率
• 年，卷（期）: 2013,（24）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 30-33
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3384字
• 语种: 中文

摘要

以乙酰丙酮锌、乙酰丙酮铝为锌和铝的原料,乙醇和水为溶剂,采用超声喷雾热解法在玻璃衬底上制备了ZnO∶Al透明导电薄膜,研究了Al添加量为0％～20％(原子分数,下同)对ZnO∶Al薄膜光电性能的影响.使用XRD、SEM、DSC、FTIR、四探针、分光光度计对薄膜进行了表征和分析.结果表明,300℃的低温能生长出结晶态的薄膜,Al掺杂引起晶格常数减小;晶粒形貌为片状;随着Al添加量的增加,方块电阻先降低后增大,Al添加量为4.0％时具有最低的方块电阻(4.43 kΩ/sq),最佳的电阻率(0.43 Ω·cm);Al添加量对薄膜的透光率影响较小,平均可见光透光率大于80％.真空热处理可显著降低方块电阻,Al添加量为4.0％的薄膜经过550℃热处理后,其方块电阻降低到106 Ω/sq,相应的电阻率为1.0×10-2 Ω·cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王华	桂林电子科技大学材料科学与工程学院	98	463	13.0	17.0
2	许积文	桂林电子科技大学材料科学与工程学院	68	171	6.0	10.0
3	杨玲	桂林电子科技大学材料科学与工程学院	35	103	6.0	8.0
4	韦帅	桂林电子科技大学材料科学与工程学院	3	12	2.0	3.0
5	张婷婷	桂林电子科技大学材料科学与工程学院	3	31	3.0	3.0