测厚尺寸法钟罩气体流量标准装置的不确定度评定

• 作者: 蔡勤
• 来源期刊: 计量与测试技术
• 关键词: 测厚尺寸法 钟罩 气体流量标准装置 不确定度
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 计测技术
• 页码范围: 74-75
• 页数: 2页
• 字数: 1921字
• 语种: 中文

摘要

采用测厚尺寸法评定钟罩式气体流量标准装置不确定度在现有研究中鲜有报道.依据测厚尺寸法的检定过程,对引起装置误差的各个方面分别分析计算,得到标准不确定度分量,合成后得到装置扩展不确定度Urel=0.40％,表明标准装置精度较高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡勤	新疆计量测试研究院流量二所	8	8	2.0	2.0