难导电硬脆材料喷雾电化学放电加工机理研究

• 作者: 于建元 刘志东 王琳 田宗军 邱明波
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 难导电材料 喷雾 电化学 放电 蚀除方式
• 年，卷（期）: 2013,（9）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 1214-1219
• 页数: 6页
• 分类号: TG661
• 字数: 4267字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2013.09.017

摘要

采用喷雾电化学放电加工方法对单晶硅、光学玻璃和氧化铝陶瓷三种难导电硬脆材料进行试验研究,阐述了加工原理,构建了传热物理模型.通过分析加工放电波形和表面微观形貌,得出了难导电硬脆材料的加工蚀除方式.研究表明,对于硅等半导体材料,主要依靠电化学腐蚀、电化学放电和化学溶解进行综合蚀除；对于光学玻璃等易软化的绝缘材料,主要依靠电化学放电形成的局部高温进行软化,并进行化学溶解蚀除；对于氧化铝陶瓷等高熔点绝缘材料,电化学放电通常只能产生软化层,再由机械方法实现延性方式去除.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田宗军		220	2027	21.0	32.0
2	刘志东		229	1912	22.0	29.0
3	邱明波		78	554	13.0	20.0
4	王琳		6	27	2.0	5.0
5	于建元		5	30	3.0	5.0