微透镜变化对半导体激光器光束匀化效果的影响

• 作者: 尹韶云 杜春雷 殷智勇 汪岳峰 王军阵 白慧君 贾文武
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体激光器 光束整形 边缘衍射 微透镜阵列 成像型光束积分器
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 2556-2560
• 页数: 5页
• 分类号: TN245
• 字数: 1603字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20132510.2556

摘要

为了实现高均匀性的半导体激光器泵浦光源,研究了成像型光束积分器中微透镜的变化对泵浦光均匀性的影响.详细讨论了微透镜数值孔径与入射光束的角度匹配的问题.推导了高斯光束经成像型光束积分器的光场分布模型,分析了微透镜的边缘衍射对光斑均匀性的影响,明确了微透镜孔径大小的取值范围,并利用ZEMAX进行了系统仿真及实验验证.结果表明,经优化后的成像型光束积分器实现了不均匀性为8.11％的矩形光斑.