Alx Ga1-x N晶体薄膜中铝含量的卢瑟福背散射精确测定*

• 作者: 刘运传 周燕萍 孟祥艳 段剑 王雪蓉 郑会保
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 氮铝镓 卢瑟福背散射 测量不确定度 金属有机化合物气相淀积法
• 年，卷（期）: 2013,（16）
• 页码范围: 162901-1-162901-5
• 页数: 1页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.162901

摘要

采用金属有机化合物气相淀积法在(0001)取向的蓝宝石衬底上生长一层大约20 nm厚的AlN缓冲层,在缓冲层上生长大约2μm厚、晶体质量良好的Alx Ga1?x N外延层,通过深紫外光致发光法测量发光峰的能量Eg判断外延层中铝含量的均匀性,取样品均匀性良好的氮铝镓外延片进行卢瑟福背散射(RBS)实验,通过两个高能离子束实验室分别进行RBS随机谱分析,每个实验室测量六个样品,由分析软件拟合随机谱获得外延层中的xAl.并对样品的均匀性、堆积校准、计数统计、散射角、离子束能量与阻止截面等影响测量结果准确性的不确定度来源进行分析.结果表明,采用入射离子4He,能量为2000 keV,散射角为165?时,氮铝镓外延片中铝含量(x=0.8)的测量不确定度为2.0%,包含扩展因子k=2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘运传		31	80	5.0	7.0
2	郑会保		26	89	6.0	8.0
3	孟祥艳		29	80	5.0	7.0
4	周燕萍		28	51	4.0	5.0
5	王雪蓉		22	35	3.0	4.0
6	段剑		9	38	4.0	6.0