单频激光干涉仪采样系统设计

• 作者: 林淞 胡高山
• 来源期刊: 科技广场
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉仪 数据采集系统 改进型Edlen公式 亚纳米级
• 年，卷（期）: 2013,（9）
• 所属期刊栏目: 软件技术与开发
• 页码范围: 35-38
• 页数: 4页
• 分类号: TP311
• 字数: 1999字
• 语种: 中文

摘要

为了解决在纳米级,甚至亚纳米级高精度位移测量时,激光干涉仪测量数据读数精度不高的问题,本文将改进型的Edlen公式引进到激光干涉仪软件程序中,提高激光干涉仪的读数准度,并且扩大其工作范围.改进型Edlen公式的使用和对程序的改写,使激光干涉仪软件所显示的数据精度更高,更准确,有效地减小了环境因素对激光干涉仪读数的影响偏差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡高山	沈阳建筑大学信息与控制工程学院	1	0	0.0	0.0
2	林淞	沈阳建筑大学信息与控制工程学院	3	2	1.0	1.0