基于SVD的MEMS微结构位移测量新算法

• 作者: 罗元 胡章芳 计超
• 来源期刊: 科技导报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 相位相关 奇异值分解 亚像素
• 年，卷（期）: 2013,（17）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 25-28
• 页数: 4页
• 分类号: TP391.41
• 字数: 3469字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2013.17.003

摘要

为实现MEMS微结构周期运动过程中平面运动位移测量及其动态特性参数的高分辨力测量,本文针对频闪成像技术获得的微结构运动图像序列,提出一种基于相位相关技术与奇异值分解技术相结合的亚像素测量方法.该方法通过相位相关技术将图像的空间坐标转换为频域坐标的参数空间,然后通过奇异值分解技术处理得到的相关矩阵,最后利用最小二乘法线性拟合,得到物体水平位移的亚像素测量结果.实验结果表明,用该方法测量MEMS微结构平面运动位移能达到亚像素精度,从而提高测量结果的稳定性和减少测量误差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗元	重庆邮电大学光电工程学院	192	1681	17.0	31.0
2	胡章芳	重庆邮电大学光电工程学院	77	290	9.0	14.0
3	计超	重庆邮电大学光电工程学院	2	9	2.0	2.0