单晶硅微纳构件加工表面性能的时变性研究

• 作者: 孙雅洲 梁迎春 胡兴雷 陈家轩
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 蒙特卡罗方法 纳米加工 表面性能 时变性
• 年，卷（期）: 2013,（22）
• 所属期刊栏目: 总论
• 页码范围: 220704-1-220704-8
• 页数: 1页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.220704

摘要

采用蒙特卡罗方法和分子动力学方法相结合，模拟单晶硅微纳构件加工表面的时效过程，研究其对加工表面质量和构件力学性能的影响。模拟结果表明：在时效过程中，单晶硅微纳构件加工变质层的有序度显著提高，残余应力大幅降低，表面粗糙度略有增加，此外还发现加工变质层中非晶硅原子在时效过程中大幅减少，部分非晶硅出现了再结晶现象，其中部分BCT5-Si以及金属相(Si-II)结构原子转化为金刚石结构(Si-I)。时效作用对加工后单晶硅微纳构件表面性能具有重要的影响，同时可以提高微纳构件的拉伸力学性能。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁迎春	哈尔滨工业大学机电工程学院	145	2341	26.0	39.0
2	孙雅洲	哈尔滨工业大学机电工程学院	41	1107	17.0	33.0
3	陈家轩	哈尔滨工业大学机电工程学院	13	110	3.0	10.0
4	胡兴雷	哈尔滨工业大学机电工程学院	1	0	0.0	0.0