CeO2掺杂ZnO厚膜的制备及气敏性能的研究

• 作者: 何平 刘伟 曹冠龙 潘国峰 郑伟艳 齐景爱
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: CeO2 ZnO 紫外线 丙酮 气敏
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 研究·开发
• 页码范围: 682-684,688
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2302字
• 语种: 中文

摘要

采用sol-gel法制备ZnO及CeO2掺杂量分别为6％、7％和8％(质量分数)的ZnO粉体.通过XRD、SEM对材料的表面形貌和结构进行表征.研究了掺杂量对粉体制备的影响.采用静态配气法对该粉体制成的气敏元件进行测试,结果表明,在工作温度仅为85℃的条件下,7％(质量分数)CeO2-ZnO气敏传感器对饱和丙酮蒸汽的灵敏度最高达9634,响应时间为3s,恢复时间为2s;在较低浓度2.0×10-4时灵敏度也可达30左右.并对丙酮气敏传感器的气敏机理进行了进一步探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘国峰	河北工业大学微电子研究所	70	462	10.0	18.0
2	刘伟	河北工业大学微电子研究所	95	430	11.0	16.0
3	何平	河北工业大学微电子研究所	21	216	7.0	14.0
4	齐景爱	河北工业大学微电子研究所	30	76	5.0	7.0
5	郑伟艳	河北工业大学微电子研究所	8	72	5.0	8.0
6	曹冠龙	河北工业大学微电子研究所	5	35	3.0	5.0