高气压直流辉光CH4/H2等离子体的气相过程诊断*

• 作者: 丁芳 张一川 朱晓东 李唤 杨宽 汤中亮 谢新华 郑仕健
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 高气压直流等离子体 光发射谱 质谱
• 年，卷（期）: 2013,（16）
• 页码范围: 165204-1-165204-5
• 页数: 1页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.165204

摘要

对高气压(约100 Torr)直流辉光碳氢等离子体的气相过程进行了光谱和质谱原位诊断。在高气压下,等离子体不同区域光发射特性存在明显差异。正柱区存在着以C2和CH为主的多个带状谱和分立谱线,阳极区粒子发射谱线明显减少,而在阴极区则出现大量复杂的光谱成分,表明高气压情形下等离子体与阴极间强烈的相互作用将导致复杂的原子分子过程。从低气压到高气压演变过程中,电子激发温度降低而气体分子转动温度升高。在高气压下,高甲烷浓度导致C2, C2H2及C2H4增多而C2H6减少。表明在高气压条件下,气体温度对气相过程的影响作用显著增强。