太阳能级多晶硅片表面制绒的研究

• 作者: 严俊 殷伟琦 管世兵 顾顺超
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 酸腐蚀时间 氟硅酸 制绒效果 反射率
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 37-39,48
• 页数: 4页
• 分类号: TM914.4+1
• 字数: 2323字
• 语种: 中文

摘要

主要研究多晶硅太阳能电池片工业制绒的酸腐蚀过程,腐蚀液是由HNO3、HF和H2 SiF6组成的混合液,未添加其他试剂作为反应缓释剂；采用SEM和紫外分光光度计对多晶硅片表面制绒形貌进行观察和检测分析.实验过程中,按照工业生产的实际模型,首先研究确定了最佳腐蚀时间为2 min,之后主要研究了酸腐蚀过程中的H2SiF6浓度对多晶硅表面制绒效果的影响,优化得到H2SiF6的最低含量为2％,并确定最佳腐蚀工艺条件,为进一步回收利用腐蚀废液提供依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾顺超	上海交通大学化学化工学院	19	90	6.0	9.0
2	管世兵	上海交通大学化学化工学院	1	3	1.0	1.0
3	殷伟琦		1	3	1.0	1.0
4	严俊		1	3	1.0	1.0