界面对ZrN/TaN纳米多层膜固氦性能的影响*

• 作者: 刘望 安竹 朱敬军 汪渊 王飞 邓爱红
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: ZrN/TaN 纳米多层膜 界面 固氦
• 年，卷（期）: 2013,（18）
• 页码范围: 390-395
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.186801

摘要

采用射频磁控溅射方法，在混合气氛下制备了ZrN/TaN多层膜.利用X射线衍射、慢正电子束分析、增强质子背散射、扫描电子显微镜，分别对ZrN/TaN多层膜中相结构、氦相关缺陷、氦含量、截面形貌等进行了分析.结果表明，调制周期为30 nm的ZrN/TaN多层膜在600?C退火后，氦的保持率仍能达到45.6%.在适当的调制周期下， ZrN/TaN多层膜能够耐氦损伤并且其界面具有一定的固氦性能.