纳米SiCN薄膜的制备和光致发光

• 作者: 孟旭东
• 来源期刊: 光谱实验室
• 学科: 化学
• 关键词: SiCN薄膜 磁控溅射 光致发光
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 567-569
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4|O657.61
• 字数: 1365字
• 语种: 中文

摘要

采用磁控溅射技术制备了SiCN薄膜,利用傅里叶红外光谱仪、扫描探针显微镜、荧光分光光度计对薄膜结构、表面形貌、光致发光进行了表征.结果表明SiCN薄膜有良好的发光性质,通过对薄膜的红外光谱及光致发光谱分析可知,当氩气和氮气流量比为4:1时,最有利于SiCN薄膜的生成,PL发光峰强度也达到最大值,SiCN薄膜的光发射主要来源于带-带直接辐射复合及导带底到缺陷态辐射跃迁.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟旭东	河北北方学院物理系	17	24	3.0	3.0