ZnO∶Nb透明导电薄膜的制备及光电特性研究

• 作者: 刘汉法 周爱萍 臧永丽
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO∶Nb薄膜 溅射功率 透明导电薄膜 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 工艺·技术
• 页码范围: 1012-1014,1019
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2453字
• 语种: 中文

摘要

采用直流磁控溅射法在玻璃衬底上沉积铌掺杂氧化锌(NZO)透明导电薄膜.通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)以及透射光谱等测试研究了溅射功率对薄膜结构、形貌以及光电性能的影响.实验结果表明NZO薄膜是多晶膜,具有ZnO的六角纤锌矿结构,最佳取向为(002)方向.溅射功率从40W增加到80W时,薄膜的电阻率迅速下降；功率超过80W时,电阻率趋于平稳.在溅射功率为100W时,电阻率具有最小值5.89×10-4Ω·cm,光学带隙具有最大值3.395eV.实验制备的NZO薄膜附着性能良好,在可见光范围内的平均透过率均超过86.6％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘汉法	山东理工大学理学院	57	316	11.0	13.0
2	臧永丽	山东理工大学理学院	9	48	3.0	6.0
3	周爱萍	山东理工大学理学院	17	53	3.0	6.0