Ni/Zr-Co-Re堆栈层薄膜吸气剂的吸气性能及Ni作用机理研究

• 作者: 崔航 张心强 朱君 毛昌辉 田士法
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 吸气剂 Ni保护层 薄膜 吸气性能
• 年，卷（期）: 2013,（21）
• 所属期刊栏目: 工艺?技术
• 页码范围: 3208-3211
• 页数: 4页
• 分类号: TN104.8
• 字数: 3104字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2013.21.035

摘要

采用磁控溅射的方法制备了带有 Ni 保护层和Zr-Co-Re(Re代表稀土元素)主体层的堆栈层薄膜吸气剂。通过X射线光电子能谱仪(XPS)分析了薄膜吸气剂内部 O 元素的含量分布，研究了薄膜吸气剂中Ni层的防氧化作用和机理。研究表明：(1)Ni/Zr-Co-Re堆栈层薄膜吸气剂在160℃保温3h 的条件下可以有效激活，并具有高于 Zr-Co-Ni 单层薄膜吸气剂的吸气性能；(2)Ni保护层降低了吸气剂的被氧化程度，促进了表面吸附的 H2分子的解离和扩散。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛昌辉		60	564	12.0	21.0
2	张心强		7	21	2.0	4.0
3	崔航		4	4	2.0	2.0
4	田士法		1	2	1.0	1.0
5	朱君		3	4	2.0	2.0