Be薄膜应力的X射线掠入射侧倾法分析*

• 作者: 吴卫东 周民杰 房奇 李佳 李恺 罗炳池
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: Be薄膜 X射线衍射 应力
• 年，卷（期）: 2013,（14）
• 页码范围: 91-96
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.140701

摘要

由于铍薄膜极易被X射线穿透，传统的几何模式下很难获得有效的X射线衍射应力分析结果。本文采用掠入射侧倾法分析SiO2基底上Be薄膜残余应力，相比其他衍射几何方法，提高了衍射的信噪比，获得的薄膜应力拟合曲线线形较好。对Be薄膜的不同晶面分析，残余应力结果相同，表明其力学性质各向同性；利用不同掠入射角下X射线的穿透深度不同，获得应力在深度方向上的分布；由薄膜面内不同方向的残余应力相同，确定薄膜处于等双轴应力状态。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李恺	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	17	74	5.0	7.0
3	李佳	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	16	53	5.0	6.0
4	吴卫东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	140	1087	18.0	26.0
5	罗炳池	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	8	13	2.0	2.0
7	周民杰	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	6	14	2.0	3.0
8	房奇	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	2	3	1.0	1.0