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摘要:
运用射频磁控溅射方法,在氘氩混合气氛中制备了含氘碳钨共沉积薄膜.利用离子束分析方法[卢瑟福背散射(RBS)和弹性反冲(ERD)]对薄膜样品的厚度、成分、氘含量等进行了分析;利用拉曼光谱和扫描电子显微镜(SEM),分别分析了薄膜的结构和表面形态.离子束分析发现,氘原子更易被碳原子俘获位俘获,并且氘含量会随着沉积温度的升高而降低;其他镀膜条件固定的情况下,不同混合气体压强下薄膜样品中的氘浓度在5.0 Pa处有一个峰值;拉曼光谱分析显示,沉积温度从室温升高到725 K时,碳钨共沉积层中的类石墨化成分增加,同时,非晶化的程度也加剧;扫描电子显微镜图像表明,随着温度的升高薄膜表面被腐蚀的痕迹消失,但是由于应力的改变表面出现了多处的凸起.
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分类
来源辨析
分布迁移
降解
吸附机制
氘在Ti-32Mo-5Nb合金中的行为
钛合金
氘钛原子比
深度分布
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 氘在碳钨共沉积层中的滞留行为研究
来源期刊 物理学报 学科
关键词 氘滞留 碳钨共沉积 射频磁控溅射
年,卷(期) 2013,(19) 所属期刊栏目 气体、等离子体和放电物理
研究方向 页码范围 328-333
页数 6页 分类号
字数 语种 中文
DOI 10.7498/aps.62.195202
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 唐兴华 复旦大学现代物理研究所应用离子束物理教育部重点实验室 5 3 1.0 1.0
5 李嘉庆 复旦大学现代物理研究所应用离子束物理教育部重点实验室 3 0 0.0 0.0
9 张文钊 复旦大学现代物理研究所应用离子束物理教育部重点实验室 1 0 0.0 0.0
传播情况
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引文网络
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2013(0)
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研究主题发展历程
节点文献
氘滞留
碳钨共沉积
射频磁控溅射
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
物理学报
半月刊
1000-3290
11-1958/O4
大16开
北京603信箱
2-425
1933
chi
出版文献量(篇)
23474
总下载数(次)
35
总被引数(次)
174683
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
论文1v1指导