聚氯代对二甲苯薄膜聚集态结构的研究进展

• 作者: 张豪 温茂萍 田勇 谭凯元
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 化学
• 关键词: 聚氯代对二甲苯 PC膜 聚集态
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 99-102
• 页数: 4页
• 分类号: FQ322|O625|TM215
• 字数: 2370字
• 语种: 中文

摘要

介绍了国内外聚氯代对二甲苯薄膜(PC膜)聚集态结构的研究动态,包括PC膜聚集态结构的表征,随沉积条件、温度变化的演变及其与宏观性能的关系.对PC膜聚集态结构的表征主要局限于晶胞结构、细观形貌.在沉积条件中,沉积压力和温度是影响PC膜聚集态结构的主要因素,同时PC膜在高温下会发生晶相转换以及结晶度的变化,而其聚集态结构的差异会对PC膜的透湿性、力学性能及其表面性能产生显著影响.针对PC膜面向微器件的应用,进一步提出在其聚集态结构方面有待深入研究的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温茂萍		62	494	12.0	17.0
2	田勇		45	214	8.0	12.0
3	谭凯元		9	16	2.0	3.0
4	张豪		6	14	2.0	3.0