Synthesis of TiN/a-Si3N4 thin film by using a Mather type dense plasma focus system

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篇名	Synthesis of TiN/a-Si3N4 thin film by using a Mather type dense plasma focus system
来源期刊	中国物理B（英文版）	学科
关键词	plasma focus TiN/a-Si3N4 films X-ray diffraction
年，卷（期）	2013,（5）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	381-385
页数	5页	分类号
字数		语种	英文
DOI	10.1088/1674-1056/22/5/055204

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