高压退火对0.65PMN-0.35PT 薄膜结构、形貌及电学性能的影响*

• 作者: 侯海军 唐焕芳 朱建国 杨焕银 郑勇林 郭红力
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 射频磁控溅射 高压退火 0.65PMN-0.35PT 介电
• 年，卷（期）: 2013,（13）
• 页码范围: 130704-1-130704-6
• 页数: 1页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.130704

摘要

利用射频磁控溅射技术在 LaNiO3/SiO2/Si(100)基底上制备了厚度约为250 nm 的0.65PMN-0.35PT(PMN-PT)薄膜.研究高压氧氛围退火方式对 PMN-PT 薄膜晶体结构、形貌以及电学性能的影响.经过 XRD 测试发现,在高压氧气氛围中,温度为400?C 下退火后的 PMN-PT 薄膜具有纯的钙钛矿相结构,具有完全的(100)择优取向,且衍射峰尖锐,表明经过高压退火后的薄膜结晶极为充分. SEM 表面形貌测试结果显示,经高压退火处理的 PMN-PT 薄膜表面呈现出棒状或泡状的形貌.铁电性能测试表明：氧气氛围压强4 MPa,退火时间4h 的 PMN-PT 薄膜样品具有较好的铁电性能,其剩余极化强度 Pr 达到10.544μC/cm2,且电滞回线形状较好,但漏电流较大,这可能是由于其微结构所导致.同时介电测试发现： PMN-PT 薄膜样品具有极好的介电性能,其在1 kHz 下测试的介电常数εr 达到913,介电损耗 tgδ较小,仅为0.065.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱建国	四川大学材料科学与工程学院	124	1424	17.0	35.0
2	杨焕银	长江师范学院凝聚态物理研究所	9	10	2.0	2.0
3	郭红力	长江师范学院凝聚态物理研究所	11	11	2.0	2.0
4	侯海军	盐城工学院材料科学与工程学院	15	20	2.0	4.0
5	唐焕芳	长江师范学院凝聚态物理研究所	2	5	1.0	2.0
6	郑勇林	长江师范学院凝聚态物理研究所	13	9	2.0	2.0