基于光栅分光法的相干衍射成像*

• 作者: 刘诚 朱健强 潘兴臣
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 相干衍射成像 相位恢复 显微成像 迭代算法
• 年，卷（期）: 2013,（18）
• 页码范围: 192-197
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.184204

摘要

提出一种可以通过单次曝光实现PIE (ptychographic imaging engine)成像的方法，该方法用正交光栅将入射细光束衍射为传播方向不同的子光束簇以对样品进行照明，并用CCD同时记录各个子光束所形成的衍射光斑阵列。该方法很好地克服了现有PIE方法的成像质量易受机械扫描误差影响和数据采集时间过长两个缺点，具有很好的实用价值。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱健强	中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室	147	1132	17.0	31.0
2	刘诚	中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室	31	296	8.0	17.0
3	潘兴臣	中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室	6	12	1.0	3.0