沉积温度对硫化锌（ZnS）薄膜的结晶和光学特性影响研究

• 作者: 于天燕 刘定权 秦杨
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 硫化锌薄膜 沉积温度 表面形貌 光学常数
• 年，卷（期）: 2013,（21）
• 所属期刊栏目: 原子和分子物理学
• 页码范围: 206-210
• 页数: 5页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.214211

摘要

对不同温度下沉积的ZnS薄膜的结晶情况和光学特性进行了研究，结果表明：沉积温度对ZnS薄膜的物理和光学特性有较大影响，不同的温度沉积的ZnS薄膜具有不同的择优取向，牢固度也大不相同；不同沉积温度下， ZnS薄膜的光学常数也不尽相同。温度为115?C和155?C时， ZnS薄膜的物理性能和光学性能较差，不适合空间用光学薄膜的研制使用。而190?C和230?C沉积温度下所得薄膜具有较好的物理和光学性能，适合于不同要求的空间用薄膜器件的研制使用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘定权	中国科学院上海技术物理研究所光学薄膜与材料研究室	49	176	8.0	12.0
2	于天燕	中国科学院上海技术物理研究所光学薄膜与材料研究室	11	64	4.0	8.0
3	秦杨	中国科学院上海技术物理研究所光学薄膜与材料研究室	4	7	1.0	2.0