基于机器视觉的晶圆裸片计数

• 作者: 雷禹 高阳
• 来源期刊: 电子世界
• 关键词: 晶圆裸片 机器视觉 hough 计数
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 页码范围: 36-38
• 字数: 1594字
• 语种: 中文

摘要

半导体工业生产上很重要的一环就是晶圆生产,晶圆在划片一环会经过品质检测,机械手会取走合格的晶圆裸片,通过对取走后晶圆的分析,可以知道合格品的数目,就可以得到晶圆的良品率参数,便于及时调整工艺,对于生产环节来讲有着重要的地位.本文提出了一种基于机器视觉的晶圆裸片计数算法.该算法基于hough找直线算法,利用晶圆切片本身的一些规律,实现自动检测出取走的晶圆裸片数目.与现有的算法相比,本文的方法易于实现,同时实验显示该算法具有良好的计算性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高阳	广东工业大学信息工程学院	1	4	1.0	1.0
2	雷禹	广东工业大学信息工程学院	2	5	1.0	2.0