N2微空心阴极放电特性及其阴极溅射的PIC/MC模拟

• 作者: 孟秀兰 张素 张连珠? 赵国明 高书侠
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 微空心阴极放电 PIC/MC模拟 N2等离子体
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 页码范围: 252-261
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.075201

摘要

采用两维PIC/MCC模型模拟了氮气微空心阴极放电以及轰击离子(N+2,N+)的钛阴极溅射.主要计算了氮气微空心阴极放电离子(N+2,N+)及溅射原子Ti的行为分布,并研究了溅射Ti原子的热化过程.结果表明:在模拟条件下,空心阴极效应是负辉区叠加的电子震荡;在对应条件下,微空心较传统空心放电两种离子(N+2,N+)密度均大两个量级,两种离子的平均能量的分布及大小几乎相同;在放电空间N+的密度约为N+2的1/6,最大能量约大2倍;在不同参数(P, T, V)下,轰击阴极内表面的氮离子(N+2,N+)的密度近似均匀,其平均能量几乎相等;从阴极溅射出的Ti原子的初始平均能量约6.8 eV,离开阴极约0.15 mm处几乎完全被热化.模拟结果为N2微空心阴极放电等离子体特性的认识提供了参考依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟秀兰	河北师范大学物理科学与信息工程学院	32	37	4.0	5.0
2	高书侠	河北师范大学物理科学与信息工程学院	8	54	4.0	7.0
3	赵国明	河北师范大学物理科学与信息工程学院	3	4	1.0	2.0
4	张连珠?	河北师范大学物理科学与信息工程学院	1	4	1.0	1.0
5	张素	河北师范大学物理科学与信息工程学院	2	4	1.0	2.0