直拉单晶硅中洁净区形成后铜沉淀行为的研究

• 作者: 张光超 徐进
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 直拉单晶硅 铜沉淀 洁净区
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 页码范围: 305-310
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.076103

摘要

本文研究了直拉单晶硅中形成洁净区后过渡族金属杂质铜的沉淀行为.样品经过高低高三步常规热处理形成洁净区后,在不同温度下引入杂质铜,然后对样品分别进行普通热处理和快速热处理,通过腐蚀和光学显微镜研究发现,在700?C引入铜杂质后经过普通热处理和快速热处理都不会破坏洁净区,在900?C和1100?C引入铜杂质后经过普通热处理不会破坏洁净区,而经过快速热处理会破坏洁净区.研究表明,快速热处理可以使硅片体内产生大量的空位,空位的外扩散是破坏洁净区的主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐进	厦门大学材料学院	9	45	3.0	6.0
2	张光超	厦门大学材料学院	2	0	0.0	0.0