(Zr,V)N复合膜的结构、力学性能及摩擦性能研究

• 作者: 喻利花 曹峻 许俊华? 马冰洋
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: (Zr,V)N薄膜 微结构 力学性能 摩擦性能
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 页码范围: 347-350
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.076202

摘要

通过非平衡磁控溅射的方法制备了不同V含量的(Zr,V)N复合薄膜,采用EDS, XRD, XPS,纳米压痕仪和摩擦磨损仪等对薄膜的化学成分、微结构、力学性能及摩擦性能进行了研究.结果表明, V的加入虽未改变ZrN的fcc晶体结构,但使薄膜的择优取向由ZrN的(200)面转变为(Zr,V)N的(111)面.随着V含量增加,(Zr,V)N复合膜的硬度略有升高后缓慢降低,并在含25.8 at.%V后迅速降低.与此同时,薄膜的常温摩擦系数亦有小幅降低.高温摩擦研究表明,(Zr,V)N薄膜在300?C时出现V2O3, V2O5在500?C后形成,其含量也随温度的提高而增加.薄膜的摩擦系数因V2O5的形成而得到显著降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	喻利花	江苏科技大学材料科学与工程学院	58	246	8.0	12.0
2	马冰洋	江苏科技大学材料科学与工程学院	7	20	3.0	4.0
3	曹峻	江苏科技大学材料科学与工程学院	8	43	4.0	6.0
4	许俊华?	江苏科技大学材料科学与工程学院	1	2	1.0	1.0