基于三维元胞模型的刻蚀工艺表面演化方法*

• 作者: 孙晓民 宋亦旭 郑树琳?
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 刻蚀 三维元胞模型 表面演化算法 降维分量拟合
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 页码范围: 419-427
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.108201

摘要

为了更好地理解和认识刻蚀机理,并为制造工艺提供优化指导,采用三维元胞模型研究了刻蚀工艺的表面演化过程,并着重探讨了离子对表面演化过程的影响.针对刻蚀离子入射角度的求解问题,提出了一种降维分量拟合方法,将一个三维曲面拟合问题转化为两个二维曲线拟合进行求解,对入射点的表面法向量计算实现了快速求解,与采用最小二乘多项式曲面拟合求解离子入射角度相比,其计算精度和效率都有较大的提高;对用于拟合计算的表面元胞的选取方法进行了改进,提高了拟合的准确度.将这种方法应用到硅刻蚀工艺三维仿真中,其模拟结果与相关实验结果对比,验证了该方法对刻蚀工艺描述的有效性.