电负性气体的掺入对容性耦合Ar等离子体的影响*

• 作者: 唐中华 徐东升 洪布双 王栩生 苑涛 虞一青 辛煜? 邹帅
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 电负性等离子体 电子密度 电子温度 电负度
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 页码范围: 350-357
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.115202

摘要

本文利用朗缪尔静电探针对掺入了电负性气体O2, Cl2, SF6的由4068 MHz激发的单射频容性耦合Ar等离子体进行了诊断测量.测量结果表明:随着电负性气体流量的增加,电子能量概率分布函数出现了高能峰,高能峰且有向高能侧漂移的现象;电负性气体掺入Ar等离子体后显著降低了等离子体的电子密度;电子温度随着电负性气体流量比的增加而升高.另外,本文还测量了掺入三种电负性气体后在不同流量比下的混合气体等离子体的电负度α.对实验现象进行了初步的解释.