电极电压对碳纳米管阴极电离规性能影响的数值模拟*

• 作者: 张虎忠 成永军 李得天? 肖玉华 董长昆?
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 碳纳米管阴极电离规 电极电压 灵敏度 阳极电流
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 页码范围: 167-174
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.110703

摘要

本文基于IE514分离规结构,建立了碳纳米管阴极电离规物理模型,根据电离规标准方程,利用离子光学模拟软件SIMION 8.0分别研究了电极电压对灵敏度和Igrid/Ie的影响.结果表明,随着阳极/门极电压比值增大(Vgrid/Vgate), Igrid/Ie也将增大,然而,当阳极电压增大时,会导致灵敏度降低,进而影响真空测量下限的延伸;该模拟结果与相关文献报道的实验结果符合性很好.因此,选择合适的电极电压,将有利于提高灵敏度,增大阳极电流,进一步延伸真空测量下限.本文所采用的数值模拟方法可推广应用于各种新型碳纳米管阴极极高真空电离规的研发和理论分析中,为解决极高真空测量难题提供了有效的研究途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	成永军	兰州物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	39	271	9.0	13.0
2	张虎忠	兰州物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	3	17	3.0	3.0
3	肖玉华	兰州物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	3	15	2.0	3.0
4	李得天?	兰州物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	1	6	1.0	1.0
5	董长昆?	兰州物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	1	6	1.0	1.0