下电极对ZnO薄膜电阻开关特性的影响

• 作者: 季振国 席俊华 李红霞 毛启楠 陈琪 陈雪平
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: ZnO薄膜 电阻开关 下电极
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 页码范围: 392-397
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.077202

摘要

本文采用直流磁控溅射法在三种不同的下电极(BEs)上制备了ZnO薄膜,获得了W/ZnO/BEs存储器结构.研究了不同的下电极材料对器件电阻开关特性的影响.研究结果表明,以不同下电极所制备的器件都具有单极性电阻开关特性.在低阻态时, ZnO薄膜的导电机理为欧姆传导,而高阻态时薄膜的导电机理为空间电荷限制电流.不同下电极与ZnO薄膜之间的肖特基势垒高度对电阻开关过程中的操作电压有较大的影响,并基于导电细丝模型对不同下电极上ZnO薄膜的低阻态阻值及reset电流的变化进行了解释.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	季振国	杭州电子科技大学电子材料与器件工艺实验室	33	116	5.0	9.0
2	席俊华	杭州电子科技大学电子材料与器件工艺实验室	13	27	3.0	4.0
3	李红霞	杭州电子科技大学电子材料与器件工艺实验室	15	57	3.0	7.0
4	毛启楠	杭州电子科技大学电子材料与器件工艺实验室	7	14	3.0	3.0
5	陈雪平	杭州电子科技大学电子材料与器件工艺实验室	1	8	1.0	1.0
6	陈琪	杭州电子科技大学电子材料与器件工艺实验室	1	8	1.0	1.0