大口径干涉仪结构初探

• 作者: 华显立 贺军峰
• 来源期刊: 技术与市场
• 关键词: 干涉仪 非球面 精度
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 技术研发
• 页码范围: 12,14
• 页数: 2页
• 字数: 1762字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-8554.2013.11.007

摘要

为解决大尺寸光学元件的面形检测的困难,比较不同形式的干涉仪,最终发现反射式平行光管式的卧式斐索干涉仪的精度较高;设计一款改进的卧式斐索干涉仪,测量精度较高,约为λ/10.该仪器价格低廉、实用性强,可应用于科研、生产等领域的大口径光学元件的面形精确检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	华显立	河南工业职业技术学院光电工程系	18	52	2.0	7.0
2	贺军峰	河南工业职业技术学院光电工程系	9	9	2.0	2.0