光学膜厚监控技术

• 作者: 华显立
• 来源期刊: 技术与市场
• 关键词: 光学薄膜 光学膜厚监控 精度
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 技术研发
• 页码范围: 7-8
• 页数: 2页
• 字数: 1881字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-8554.2013.11.004

摘要

影响光学薄膜器件特性的众多因素中,膜层的折射率和光学厚度是两个最重要的因素.尤其对正在淀积的膜层的折射率精确测量极为困难,膜厚监控便成为了薄膜制备成败的关键.文章介绍了几种典型膜厚监控方法基本工作原理和最新进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	华显立	河南工业职业技术学院光电工程系	18	52	2.0	7.0