TFT-基板玻璃生产线通道空调设备的研究构想

• 作者: 赵宇峰
• 来源期刊: 电子世界
• 关键词: TFT-基板玻璃生产线 研究构想 通道空调设备 箱式粗中效一体过滤器 无缝切换 油嘴外引
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 页码范围: 191-191,192
• 页数: 2页
• 字数: 5195字
• 语种: 中文

摘要

随着对通道工艺认识的进一步深入，通道空调设备已经不再是以前认为的外围辅助设备了，现已上升到了工艺设备的层面，归到关键设备范畴。通道空调设备对稳定工艺环境、提升产品品位具有重要意义。文中综述了TFT-基板玻璃生产线通道空调设备使用现状及存在问题，提出了一种新的空气处理设备，并从设备结构、组成、控制原理及优缺点等方面详细介绍了该设备的研究构想。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵宇峰		2	0	0.0	0.0