论新型聚焦电子束—环形阴极电子枪的可行性

• 作者: 张庆涛 马飞
• 来源期刊: 中国电子商务
• 学科: 工学
• 关键词: 电子枪 环形设计 扫描电子显微镜
• 年，卷（期）: 2013,（9）
• 所属期刊栏目: 科技研究
• 页码范围: 69
• 页数: 1页
• 分类号: TG115.21+5.3
• 字数: 1535字
• 语种: 中文

摘要

本文阐述了环形阴极电子枪的可行性.通过模拟软件lorentz 2D的验证,这种新型环形阴极电子枪可以提供更高的脉冲电流(＞1μA)和更高的分辨率(＜20nm).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马飞		1	0	0.0	0.0
2	张庆涛		2	0	0.0	0.0