基于牛顿环干涉的光学传感装置设计

• 作者: 沈怡超 董璐
• 来源期刊: 电子制作
• 关键词: 牛顿环 光学传感 CCD/CMOS 检测
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 页码范围: 13-13
• 页数: 1页
• 字数: 1713字
• 语种: 中文

摘要

本文是建立在牛顿环干涉原理上，在理论条件上比较完备，同时制作的工艺也比较成熟。牛顿环装置常用来检验元件材料表面的准确度。如果改变凸透镜和平板材料间的压力，能使其间空气薄膜的厚度发生微小变化，条纹就会移动。用此原理可以精密地测定压力或长度的微小变化和凹凸度变化。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董璐		11	6	2.0	2.0