现代化液晶工厂洁净空调监控系统的建立

• 作者: 沈先良
• 来源期刊: 河南科技
• 学科: 农学
• 关键词: 液晶工厂 洁净室 SCADA系统
• 年，卷（期）: 2013,（9）
• 所属期刊栏目: 机械与自动化
• 页码范围: 83,93
• 页数: 2页
• 分类号: S611
• 字数: 2065字
• 语种: 中文

摘要

随着当今科技的飞速发展,先进的半导体生产工厂,将不再使用传统的运行方式以及日常设备维护的方法.为了能够将设备的运行效率提高,大部分的现代化工厂都开始建立属于自己的一套以现场总线、设备总线与以太网通信网络为基础的监控系统.SCADA监控系统,就是这样一种集数据采集、远程控制和监视为一体的系统.本文将对该系统在现代化液晶工厂洁净室中的应用进行简要的介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈先良		2	3	1.0	1.0