半导体光电子器件制造业MES的应用与发展

• 作者: 李超 王继帅 郭栓银
• 来源期刊: 科技风
• 关键词: 半导体光电子 制造业 MES
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 页码范围: 107-108
• 字数: 3694字
• 语种: 中文

摘要

对半导体光电子行业MES(ManufacturingExecutionSystem)的应用现状做了总结,分析了现有系统的功能属性、模块分类及使用效果,归纳了目前系统的技术特点和存在的问题,并在此基础上指出了半导体光电子行业MES系统体系结构的发展方向,以供企业设计MES系统参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李超	中国科学院苏州生物医学工程技术研究所	155	838	13.0	19.0
2	王继帅	中国科学院苏州生物医学工程技术研究所	5	5	1.0	2.0
3	郭栓银	中国科学院苏州生物医学工程技术研究所	6	13	3.0	3.0