多晶Si酸制绒刻蚀稳定性的研究

• 作者: 冯宇俊 张超 梁玉玉 焦朋府 王森涛 贾彦科
• 来源期刊: 光电子
• 学科: 经济
• 关键词: 多晶硅 酸制绒 刻蚀稳定性
• 年，卷（期）: gdz_2014,（1）
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: F2

摘要

多晶Si酸制绒刻蚀稳定性对制绒工艺有重要的影响。本文主要研究酸刻蚀量在横向和纵向的不同,结合槽体内部分析液体流向分布对刻蚀稳定性的影响,强调设备结构设计对工艺稳定性影响的重要性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾彦科		6	3	1.0	1.0
2	王森涛		13	6	1.0	2.0
3	冯宇俊		3	0	0.0	0.0
4	焦朋府		14	3	1.0	1.0
5	张超		3	0	0.0	0.0
6	梁玉玉		2	0	0.0	0.0