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硅基半导体芯片激光红外显微成像系统研究
硅基半导体芯片激光红外显微成像系统研究
作者:
张冠芳
张凯
王晓琳
米波
贺锋涛
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
半导体芯片
激光红外显微成像
多模石英光纤
音圈电机
摘要:
为了解决可见光显微成像技术无法实现硅基芯片内部结构观测的问题,根据1 064 nm的红外激光对硅材料具有一定穿透深度的特性,设计了一种硅基半导体芯片激光红外显微成像系统.该系统采用数值孔径为0.42的长工作距显微物镜,通过音圈电机振动多模石英光纤消除散斑噪音,由系统观察CD-RW盘片道间距,表明系统分辨率可达到1.6 μm,接近理论值,实现了对芯片厚度为70 μm的静态随机存储器内部结构显微成像的观测.
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相关文献总数
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(/年)
文献信息
篇名
硅基半导体芯片激光红外显微成像系统研究
来源期刊
光子学报
学科
工学
关键词
半导体芯片
激光红外显微成像
多模石英光纤
音圈电机
年,卷(期)
2014,(3)
所属期刊栏目
激光与激光光学
研究方向
页码范围
71-74
页数
分类号
TN219
字数
语种
中文
DOI
10.3788/gzxb20144303.0314001
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
贺锋涛
西安邮电大学电子工程学院
44
273
8.0
14.0
2
张凯
西安邮电大学电子工程学院
5
17
3.0
4.0
3
王晓琳
西安邮电大学电子工程学院
4
19
3.0
4.0
4
米波
西安邮电大学电子工程学院
2
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2.0
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张冠芳
西安邮电大学电子工程学院
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二级引证文献(1)
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研究主题发展历程
节点文献
半导体芯片
激光红外显微成像
多模石英光纤
音圈电机
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光子学报
主办单位:
中国光学学会
中国科学院西安光学精密机械研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-4213
CN:
61-1235/O4
开本:
大16开
出版地:
西安市长安区新型工业园信息大道17号47分箱
邮发代号:
52-105
创刊时间:
1972
语种:
chi
出版文献量(篇)
8749
总下载数(次)
11
总被引数(次)
70454
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