新型大功率LD非注入区窗口结构研究

• 作者: 刘素娟 崔碧峰 张松 李佳莼 李建军 王晓玲 苏道军 计伟 陈京湘
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 电流非注入区 脊型波导 光学灾变性损伤 发散角
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 26-29
• 分类号: TN248.4
• 语种: 中文

摘要

提出了一种基于腔面非注入区的新型窗口结构,通过腐蚀高掺杂欧姆接触层,在腔面附近引入电流非注入区,限制载流子注入腔面,减少载流子在腔面处的非辐射复合,提高了激光器腔面的光学灾变性损伤(COD)阈值.同时,引入脊型波导结构,降低了光束的水平发散角.采用该结构制作的器件在功率达到22 W时仍未出现COD现象,而无腔面非注入区结构的器件输出功率达到18W时腔面发生COD.同时,采用该结构制作的器件在工作电流为12A时其光束的水平发散角约为10°,而常规电流非注入区结构的器件在相同的工作电流下其光束水平发散角约为15°.